Micro-drilling of silicon wafer by industrial CO2 laser

نویسندگان
چکیده

برای دانلود باید عضویت طلایی داشته باشید

برای دانلود متن کامل این مقاله و بیش از 32 میلیون مقاله دیگر ابتدا ثبت نام کنید

اگر عضو سایت هستید لطفا وارد حساب کاربری خود شوید

منابع مشابه

Laser Rock Drilling by A Super-Pulsed CO2 Laser Beam

High power carbon dioxide lasers have successfully been used in drilling or cutting ngineering materials such as metals, polymers and ceramics over the years. Can a arbon dioxide laser be used to efficiently drill different rocks in a deep gas well? esearch sponsored by US Department of Energy has been carried out to answer this uestion. This paper will report the study results of using a super...

متن کامل

control of the optical properties of nanoparticles by laser fields

در این پایان نامه، درهمتنیدگی بین یک سیستم نقطه کوانتومی دوگانه(مولکول نقطه کوانتومی) و میدان مورد مطالعه قرار گرفته است. از آنتروپی ون نیومن به عنوان ابزاری برای بررسی درهمتنیدگی بین اتم و میدان استفاده شده و تاثیر پارامترهای مختلف، نظیر تونل زنی(که توسط تغییر ولتاژ ایجاد می شود)، شدت میدان و نسبت دو گسیل خودبخودی بر رفتار درجه درهمتنیدگی سیستم بررسی شده اشت.با تغییر هر یک از این پارامترها، در...

15 صفحه اول

Micro-hole drilling with femtosecond fiber laser

In this paper, micro-hole drilling in ambient air is presented using fs fiber laser (750 fs & 1030 nm). Micro holes were fabricated in both transparent (glasses) and non-transparent materials (metals and tissues). Hole shape and morphology was characterized and evaluated with optical microscope and scanning electron microscopy (SEM). Debris-free micro holes with good roundness and no thermal da...

متن کامل

The Acoustic Characteristic Investigation of Micro Plasma Shock Wave Obtained by Femtosecond Laser Ablation of Silicon Wafer Surface

We experimentally investigate the acoustic characteristic of micro plasma shock wave obtained by femtosecond laser ablation of silicon wafer surface using F-P optical fiber acoustic sensor with anti electromagnetic interference. The experimental results show that each of the femtosecond laser pulse can only produce a plasma shock wave. Under the different femtosecond laser energy, the acoustic ...

متن کامل

Fixture-based industrial robot calibration for silicon wafer handling

1 This work was supported in part by Adept Technology, Inc. and 2000 California State MICRO Grant 00-032. 4 Sr. automation engineer, TMG, Intel Corp., 2501 NW 229 Street, Hillsboro, OR 97124. Former postdoctoral researcher in ALPHA Lab. Abstract Semiconductor manufacturing industry requires highly accurate robot operation with short downtime. We develop a fast, low cost and easy-to-operate cali...

متن کامل

ذخیره در منابع من


  با ذخیره ی این منبع در منابع من، دسترسی به آن را برای استفاده های بعدی آسان تر کنید

ژورنال

عنوان ژورنال: International Journal of Mechanical and Materials Engineering

سال: 2015

ISSN: 1823-0334,2198-2791

DOI: 10.1186/s40712-015-0029-8